คุณสมบัติของผลิตภัณฑ์
รองรับหลายเวอร์ชัน (PLC/PC) และโปรโตคอลการสื่อสารกระแสหลักต่างๆ
การออกแบบและการผลิตดำเนินการตามมาตรฐานการผลิตความปลอดภัย SEMI
ความสามารถในการออกแบบช่องสัญญาณสูง UPH400 ~ 550 ชิ้น;
เหมาะสำหรับผลิตภัณฑ์และนิตยสารหลายขนาด
การออกแบบที่ได้รับการจดสิทธิบัตรระดับ MFC ช่วยป้องกันการรั่วไหลของก๊าซจนก่อให้เกิดอุบัติเหตุด้านความปลอดภัย (รองรับ-ก๊าซที่มีความเสี่ยงสูง เช่น ไฮโดรเจน)
การออกแบบที่ได้รับการจดสิทธิบัตรของห้องปิดผนึกสูงถึง 5pa;
มุมสัมผัสน้ำ<10° (related to the material of product surface);
การออกแบบสี่ช่องทางสำหรับการประมวลผลผลิตภัณฑ์ 4 รายการพร้อมกัน พร้อมอิเล็กโทรดด้านล่างคู่ ช่วยลดเวลาในการเข้าและออกบอร์ด ปรับปรุงประสิทธิภาพอย่างมาก และรับประกันความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์ในการประมวลผล
ข้อกำหนดทางเทคนิค
|
การกำหนดค่าการทำงาน |
พารามิเตอร์ทางเทคนิค |
|
|
ยาว×กว้าง×สูง(มม.) |
L1600×W1150×H1700 |
|
|
อุปกรณ์ |
น้ำหนักสุทธิ (กก.) |
1000 |
|
การกวาดล้างอุปกรณ์ต่อพ่วง (มม.) |
ด้านหลัง 600 ทั้งสองข้าง 600 |
|
|
ห้อง |
ปริมาณ(ลิตร) |
ประมาณ 9 |
|
ช่อง(หมายเลข) |
4 |
|
|
อิเล็กโทรดด้านล่าง(ชิ้น) |
2 (ฟังก์ชันการเปลี่ยนผ่าน) |
|
|
โหมดการให้อาหาร |
นิตยสาร |
|
|
ขนาดผลิตภัณฑ์แบบปรับได้ (มม.) |
ความกว้าง:40-100 ความยาว:150-300 |
|
|
อิเล็กโทรด |
มิติอิเล็กโทรด (มม.) |
528×300 |
|
แหล่งจ่ายไฟ RF |
กำลังมาตรฐาน (กิโลวัตต์) |
1 |
|
ความถี่(เมกะเฮิรตซ์) |
13.56 |
|
|
การควบคุมแก๊ส |
มากถึงสามช่อง |
2 ช่อง (มาตรฐาน), 3 ช่อง (อุปกรณ์เสริม) |
|
ระบบควบคุม |
อินเทอร์เฟซเครื่องจักรของมนุษย์- |
พีซี+หน้าจอสัมผัส |
|
อินเตอร์เฟซระยะไกล |
การสื่อสาร |
ไม่จำเป็น |
|
ปั๊มสุญญากาศ |
ปั๊มแห้งเสริม |
17CFM |
|
ปั๊มน้ำมันเสริม |
195CFM |
|
|
ปั๊มแห้งเสริมพร้อมฟังก์ชันการไล่ล้าง |
ใช่ |
|
|
อัตราการไหลของการไล่ไนโตรเจน (SLM) |
2 |
|
|
เวลาดูดฝุ่น (S) |
10月15日 |
|
|
เวลาทำลายสุญญากาศ (S) |
3-4 |
|
|
สิ่งอำนวยความสะดวกโรงงาน |
แหล่งจ่ายไฟ |
สาม-เฟส 380V50/60Hz 4.5kW(ปั๊มน้ำมัน) |
|
ขนาดและประเภทของกระบวนการ |
สวาเกล็อก 1/4 นิ้ว |
|
|
ความบริสุทธิ์ของก๊าซในกระบวนการ |
เกรดอุตสาหกรรมขึ้นไป |
|
|
ความดันของก๊าซในกระบวนการ (psig) |
10-20 |
|
|
ขนาดและประเภทของท่อส่งก๊าซธรรมชาติ |
สวาเกล็อก 1/4 นิ้ว |
|
|
การล้างความบริสุทธิ์ของก๊าซ |
เกรดอุตสาหกรรมขึ้นไป |
|
|
ความดันการล้างก๊าซ (psig) |
15 |
|
|
ขนาดและประเภทของนิวแมติก |
ข้อต่อสวมดัน-ขนาด 10 มม |
|
|
ความบริสุทธิ์ของแก๊สนิวแมติก |
อากาศอัด,ไม่มีน้ำมัน-,จุดน้ำค้าง น้อยกว่าหรือเท่ากับ 7 องศา ,อนุภาค<5 |
|
|
ความดันของก๊าซนิวแมติก (psig) |
70-90 |
|
|
อากาศอัด (มม.) |
∅8 |
|
|
การปฏิบัติตาม |
การรับรอง |
กึ่ง |
|
อุปกรณ์เสริม |
เครื่องกำเนิดไนโตรเจน (ไม่จำเป็น) |
ทางเลือกสำหรับการล้างไนโตรเจน |
|
เครื่องทำน้ำเย็น (ไม่จำเป็น) |
ทางเลือกสำหรับการระบายความร้อนของอิเล็กโทรด |
|
|
ชุดไฮโดรเจน (อุปกรณ์เสริม) |
ทางเลือกสำหรับการบำบัดด้วยไฮโดรเจน |
|
|
ตัวประมวลผลก๊าซไอเสีย (อุปกรณ์เสริม) |
ทางเลือกสำหรับการบำบัดไอเสียด้วยฟลูออรีน |
|
|
การขนส่ง |
น้ำหนักรวม (กก.) |
1050 |
|
จำนวนแพ็คเกจ |
1 |
|
|
บรรจุภัณฑ์ตามมาตรฐาน SPM15 |
ใช่ |
|
ป้ายกำกับยอดนิยม: VP-10S ระบบบำบัดพลาสมาสุญญากาศอัตโนมัติ,VP-10S ระบบบำบัดพลาสมาสุญญากาศอัตโนมัติ